Q. 포토 공정 이슈

답변 2

• 하

  하이닉스엘디플SK하이닉스

  코과장 ∙ 채택률 53% ∙

  회사

  일치

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  얼라인이 틀어지거나 초점이 잘 안잡힐거같습니다.

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• 

  프로답변러YTN

  코부사장 ∙ 채택률 86%

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  멘티님, 스캐너 이동 속도가 설계 값보다 너무 빨라지면 “한 지점에 떨어지는 실제 노광량이 줄면서 포커스·CD·이미지 품질이 무너지는” 하드웨어/공정 이슈가 핵심적으로 발생합니다. 구체적으로는 웨이퍼 스테이지가 너무 빠르게 지나가면 슬릿을 통과하는 광량과 스테이지 속도의 동기 제어가 깨져서, 노광선량 부족→레지스트 감도 미달→선폭 줄거나 끊김, CD 불균일·라인에징 거칠기 증가, 초점 유지용 Z·티틀 제어가 따라가지 못해 국부 디포커스·이미지 왜곡이 생길 수 있습니다. 또한 스테이지 가·감속이 과해지면 진동·기구 변형이 커져 스캔 방향으로 패턴이 늘어나거나 찌그러지는 스캐닝 왜곡, 필드 간 오버레이 오차 증가 같은 기계적 정렬 이슈도 동반될 수 있어, 고속 스캐너 설계에서는 “스테이지 속도·가속도 한계와 노광 dose/포커스 제어를 함께 맞추는 것”이 매우 중요한 설계 포인트입니다 채택부탁드리며 파이팅입니다!

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  반도체

  설계팀

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